真空：

分析室≤5.0 x 10-10mbar；制备室≤7.0 x 10-9mbar

能量线性：

≤ +/- 0.2 eV

分辨率：

成像空间分辨率优于3µm； 光斑空间分辨率≤20 µm

离子散射谱：

能量分辨率 (eV@FWHM)≤12.00

反射式电子能量损失谱：

电子能量1kV，分辨率(eV)≤0.5

单色化X射线源：

极限分辨率(eV@FWHM)≤0.45

中和源：

C1s 能量分辨率 (eV@FWHM)(O-C=O component)≤0.82

离子枪：

3keV High模式，样品电流≥6.00 µA

功能及特点：

主要用于样品表面元素的定性定量分析，同时可以分析元素的化学状态及深度分析。

测样要求：

样品为块体

仪器安放地点：

深圳西丽大学城北大园区B栋106

仪器负责人：

李珂

联系电话：

18565619609

Email：

like@pku.eu.cn

预约说明：

接受校内预约，校外预约请直接联系仪器负责人

收费说明：

见收费标准