真空度：

≤7×10-3 mbar

工作距离：

30mm～100mm

溅射电流：

0-150mA可调

样品仓：

140mm（宽）×145mm（深）×150mm（高）

真空泵：

adixen 2005SD，双级旋片

靶材：

Pt，Φ54mm，99.99%，21.5g/cm3，厚0.17mm

功能及特点：

主要用于扫描电镜前处理；利用离子溅射镀金属膜来增加样品的导电性，以便减少电镜观察时产生的荷电，并增强二次电子或背散射电子信号，获得更好的信噪比。

测品要求：

干燥的薄膜、粉末、块体等。

仪器安放地点：

北大深研院B栋110

仪器负责人：

南博文

联系电话：

13277969369

Email：

zhaobl@pkusz.edu.cn

预约说明：

接受校内预约，校外预约请直接联系仪器负责人

收费说明：

见收费标准